MSM光探测器瞬态特性的二维分析及优化设计

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• 来源
  《光子学报》 |2006年第3期|347-351|共5页
• 作者

  于弋川; 邹勇卓; 何建军; 何赛灵;

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• 作者单位

  浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室;

  Lightip Technologies;

  Inc.Ottawa;

  ON K1 K 4R8;

  Canada;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体光电器件;
• 关键词

  MSM光探测器; 有限差分; 二维分析; 瞬态响应; 优化设计; Si;