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MSM光探测器直流特性的二维分析

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摘要

基于有限差分方法对金属半导体金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义.

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来源
《半导体学报》 |2005年第4期|798-804|共7页
作者
于弋川; 何建军; 何赛灵; 邹勇卓;
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作者单位

浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室;

Lightip Technologies;

Inc.;

Ottawa;

ONK1K4R8;

Canada;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体光电器件;
关键词
MSM光探测器; 有限差分; 二维分析; 直流; 硅材料;

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