退火气氛和镧掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

段文芳; 赵小如; 段利兵; 白晓军; 史小龙; 朱宇瑾; 孙慧楠

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退火气氛和镧掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

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采用溶胶-凝胶浸渍提拉法在玻璃衬底上制备Zn1-xLaxO（x=0～0．04）（LZO）薄膜，分别在空气、氮气和氩气条件下进行退火，探讨了不同退火气氛和不同镧掺杂浓度对其结构和光学性能的影响。XRD和SEM结果表明：氩气退火条件下ZnO的晶粒尺寸比空气退火条件下和氮气退火条件下的晶粒尺寸略小，且ZnO晶粒的尺寸随着镧掺杂浓度的增加而减小。薄膜光致发光（PL）测量表明：紫光发光带中心在氩气下退火相对于空气下退火存在略微的蓝移，而在氮气下退火则相反；ZnO紫光发光带的位置随着镧掺杂浓度的增加先红移而后蓝移。禁带宽度在镧掺杂量为2％时达到最小值，说明镧可以有效地调节ZnO的禁带宽度。

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来源
《人工晶体学报》 |2013年第8期|1515-1520|共7页
作者
段文芳; 赵小如; 段利兵; 白晓军; 史小龙; 朱宇瑾; 孙慧楠;
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作者单位

西北工业大学理学院应用物理系;

教育部空间应用物理与化学重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
溶胶-凝胶法; ZnO薄膜; 镧掺杂; 退火; 禁带宽度;

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