低阻VDMOSFET的优化设计与制造

石广源; 罗华; 高嵩; 王中文; 阎冬梅

首页> 中文期刊> 《微电子学与计算机》 >低阻VDMOSFET的优化设计与制造

低阻VDMOSFET的优化设计与制造

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

文章对9926型双N沟增强型VDMOSFET进行了结构和版图的优化设计。给出了该器件的纵横向结构参数,材料的物理参数和版图总体结构。单胞结构的优化设计使单胞密度达到204万个/cm2,比国际市场现有产品的单胞密度(156万个/cm2)提高了30%。这种设计采用浅n+注入工艺可使器件生产成本下降31%。最后对研制结果进行了分析讨论。

著录项

来源
《微电子学与计算机》 |2003年第9期|58-59|共3页
作者
石广源; 罗华; 高嵩; 王中文; 阎冬梅;
展开▼
作者单位

辽宁大学;

哈尔滨学院物理与电子工程系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属-氧化物-半导体（MOS）器件;
关键词
低阻VDMOSFET; 优化设计; 制造; 导通电阻; CAD; 电阻率;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 鱼雷外形低阻、低噪和高机动性的多学科优化设计方法 [J] . 赵加鹏 ,张云海 ,任翀 . 兵工学报 . 2012,第002期
2. 低阻,高功率线绕电位器的设计与制造工艺 [J] . 刘永昌 . 电子元件 . 1989,第001期
3. 低阻高效江海直达集装箱船船型优化设计与试验 [J] . 胡文婷 ,任海奎 ,陈建挺 . 上海船舶运输科学研究所学报 . 2020,第003期
4. 低阻YBCO超导接头的设计和工艺优化 [J] . 阴达 ,刘章洋 ,吴向阳 . 低温与超导 . 2018,第002期
5. 金属封装用低阻复合引线的优化设计 [J] . 杨宇 ,贾松良 ,张忠会 . 半导体技术 . 2005,第8期
6. 车轮扰流板外形参数的DOE设计与低风阻优化 [C] . LI Guan-qun ,李冠群 ,HU Xing-jun . 第二十七届全国水动力学研讨会 . 2015
7. 低阻型烟风道数值模拟及内部流场的优化设计研究 [A] . 耿页 . 2014

低阻VDMOSFET的优化设计与制造

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅