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MISiC高温氢气传感器研究

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文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层,制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术。采用NO直接氧化法,改善了器件的界面特性。实验结果显示,采用该方法制作的传感器具有高响应灵敏度和良好的响应重复性。

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来源
《微电子学》 |2003年第5期|380-382|共3页
作者
陈卫兵; 宋跃;
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作者单位

华中科技大学电子科学与技术系;

湖南科技大学信息与电气工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
碳化硅; 氢气传感器; 肖特基二极管; 高温传感器; 氮化氧化物; NO直接氧化法; 一氧化氮;

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