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多芯片组件(MCM)中互连线系统的矩量法分析

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摘要

在准静态场的基础上，采用矩量法（ＭｏＭ）对多芯片组件（ＭＣＭ）中互连线结构进行了分析．为提高结果的准确性，在分析中考虑了信号线的厚度，并提取了互连传输线的等效电路分布参数．计算结果表明该方法是正确可行的．

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来源
《上海交通大学学报》 |1997年第1期|55-58|共4页
作者
赵进; 李征帆;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类互连及多层布线技术;
关键词
多芯片组件; 互连线; 矩量法; 大规模集成电路; VLSI;

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