臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池的性能影响研究

陈文浩; 周升星; 刘仁中; 刘伟庆; 肖文波; 张斌

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臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池的性能影响研究

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在硅表面沉积制备致密的氧化硅薄膜可获得极佳的表面钝化质量,然而氧化硅薄膜的常规制备方法常需要较长的工艺时间和较高的工艺成本,限制了其在太阳电池上的应用。本文拟采用臭氧氧化配合较短时间的热退火工艺对多晶硅太阳电池进行处理,实现多晶硅片表面的氧化硅薄膜制备,通过此过程改善多晶硅太阳电池的电学性能。使用该工艺方法在多晶硅片表面生成薄层氧化硅,并借助等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积的叠层氮化硅可显著提升多晶硅太阳电池正表面的钝化质量。实验对比发现,随着退火时间的延长,多晶硅片少子寿命的上升幅度增大,电池的电学性能随之提升。实验确定了最适宜的退火处理工艺,通过该臭氧氧化退火工艺,可获得超0.5%的多晶硅太阳电池效率绝对值增益。

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来源
《功能材料与器件学报》 |2022年第1期|93-97|共5页
作者
陈文浩; 周升星; 刘仁中; 刘伟庆; 肖文波; 张斌;
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作者单位

南昌航空大学测试与光电工程学院;

海润光伏科技股份有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类硅及其无机化合物;太阳能电池;
关键词
多晶硅; 热氧化; 磷扩散; 硅太阳电池;

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