抛物非球面零位干涉检测的补偿器设计

闫钧华; 胡子佳; 朱德燕; 陈阳; 张寅; 范君杰

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抛物非球面零位干涉检测的补偿器设计

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非球面因具有自由度多、像差校正能力强等优点,已作为一种更优良的面型广泛应用于航天、遥感等领域的载荷系统中。达到高精度检测要求的非球面可以在光电检测领域广泛使用,为此设计了针对口径800 mm,曲率半径1 400 mm的抛物非球面补偿器。基于像差理论计算了补偿器初始结构,并在Zemax中采用逆向设计的方法建立初始结构。结构优化后得到了设计结果PV=0.014 8λ,RMS=0.003 6λ,相关设计结果满足PV<0.25λ,RMS<0.02λ的高精度检测要求。根据所设计的补偿器结构进行公差分析,结果表明设计的补偿器可用于实际加工。

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来源
《电子设计工程》 |2022年第6期|66-70|共6页
作者
闫钧华; 胡子佳; 朱德燕; 陈阳; 张寅; 范君杰;
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作者单位

南京航空航天大学空间光电探测与感知工业和信息化部重点实验室;

南京航空航天大学航天学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试技术及设备;
关键词
非球面; Offner型补偿器; 高精度; 公差分析;

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