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John D.Grade; Hal Jerman;
Micro Machining Development,iolon,Inc.;
光交换; MEMS; 静电执行器; 微加工技术; 光通信系统; 光开关设计; 开关性能;
机译:用于抑制生物应用中CMOS-MEMS电容式力传感器的垂直干扰的静电执行器的设计
机译:用于光开关应用的静电MEMS执行器的拉入性能分析
机译:用于光开关应用的MEMS静电执行器
机译:使用灰度技术的静电MEMS执行器。
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:用于光学开关应用的静电MEMS执行器的拉入行为分析
机译:电离辐射对微机电系统(mEms)执行器的影响:静电,电热和残余应力
机译:射频可变器应用的MEMS静电执行器
机译:3自由度MEMS-3自由度MEMS活塞管静电微执行器
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