用于光交换应用的MEMS静电执行器

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微加工技术正被人们用来加工满足光通信系统要求的各类器件。在采用自由空间光学原理的器件中，针对交换、滤波和可调式衰减等应用的器件需要能实现较大的直线或角偏移的执行器(Actuator)。虽然有人建议采用基于表面微机械加工方法的器件，但对很多应用来说，执行器很难实现足够的直线或角度偏转，特别是当需要避免元件之间的摩擦接触时。

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来源
《电子产品世界》 |2004年第2b期|P.35-36|共2页
作者

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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类波导光学与集成光学;
关键词
光交换; MEMS; 静电执行器; 微加工技术; 光通信系统; 光开关设计; 开关性能;

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