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盼望路线图指明更多的方向

         

摘要

国际半导体技术发展路线图(ITRS)无论对产品制造商还是设备制造商都提供了一个明确的指导方向,甚至可据此订立公司内部的发展规划。而且,近年还扩大了内容,把成品率管理、环保、保健、安全、新材料等等都包括了进去,对半导体业界贡献殊大。

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