MEMS电容式陀螺仪的设计

张琼

首页> 中文期刊> 《电子技术与软件工程》 >MEMS电容式陀螺仪的设计

MEMS电容式陀螺仪的设计

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文设计了一种静电梳齿驱动、差分电容检测的MEMS陀螺仪,结构采用双质量块对称设计,能够有效抑制轴向加速度的干扰。利用Ansys对MEMS陀螺仪进行了仿真分析,在模态仿真中分析了陀螺结构的固有频率与振型;在静态仿真中,分析了陀螺结构在X方向、Y方向及Z方向受到50G冲击载荷时的应力分布情况,保证了弹性梁等危险区域可以承受一定的冲击载荷。

著录项

来源
《电子技术与软件工程》 |2017年第14期|P.132-133|共2页
作者
张琼;
展开▼
作者单位

忻州师范学院,山西省忻州市034000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类冲击载荷下的材料强度;
关键词
MEMS陀螺仪 Ansys仿真结构设计;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路(英文) [J] . 方然 ,鲁文高 ,陶婷婷 . 北京大学学报：自然科学版 . 2014,第4期
2. 电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析 [J] . 张琼 . 机电技术 . 2011,第005期
3. 应用于MEMS陀螺仪的大摆幅、低失真高压放大器设计 [J] . 陈华 ,刘珂 ,孟真 . 中国集成电路 . 2021,第005期
4. 一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计 [J] . 许高斌 ,杨海洋 ,王超超 . 合肥工业大学学报（自然科学版） . 2021,第008期
5. MEMS陀螺仪驱动与检测电路设计 [J] . 王涛 ,王松 ,崔智军 . 无线互联科技 . 2021,第016期
6. 振动式MEMS陀螺仪响应带宽优化设计 [C] . LIUJia ,刘嘉 ,ZHUANG Yong-he . 第二十届全国混合集成电路学术会议 . -1
7. 电容式微机械陀螺仪读出电路研究与设计 [A] . 张云福 . 2014

MEMS电容式陀螺仪的设计

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅