提高基板键合可靠性的等离子清洗工艺研究

著录项

• 来源
  《电子与封装》 |2017年第7期|40-42|共3页
• 作者

  曾玉梅; 王康; 李宏艳;

  展开▼
• 作者单位

  河北诺亚人力资源开发有限公司,石家庄050035;

  中国电子科技集团公司第五十四研究所,石家庄050081;

  中国电子科技集团公司第五十四研究所,石家庄050081;

  中国电子科技集团公司第五十四研究所,石家庄050081;

  中华通讯系统有限责任公司河北分公司,石家庄050081;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 洁净技术;
• 关键词

  等离子; 金丝键合; 清洗参数;