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等离子体清洗及其在电子封装中的应用

         

摘要

等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分,随着微电子技术的发展,等离子体清洗的优势越来越明显.文章介绍了等离子体清洗的特点和应用,讨论了它的清洗原理和优化设计方法.最后分析了等离子体清洗工艺的关键技术及解决方法.

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