微电子封装中等离子体清洗及其应用

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• 来源
  《半导体技术》 |2004年第12期|30-34|共5页
• 作者

  聂磊; 蔡坚; 贾松良; 王水弟;

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• 作者单位

  清华大学微电子学研究所;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 封装及散热问题;
• 关键词

  等离子体清洗; 干法清洗; 微电子封装;