基于真空吸附性能的物料状态检测研究

赵东雷; 王浩楠; 赵晨阳; 常美榕; 张子鹏

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基于真空吸附性能的物料状态检测研究

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针对目前IC制造装备物料状态检测方法的缺点,提出了基于真空吸附性能的物料状态检测方法,其特点在于实现了物料固定与状态检测的有机统一。首先确定以掩模版为研究对象,综合分析后选择其底面作为真空吸附面与检测平面;其次运用有限元分析和现场实验对真空吸附性能进行研究,其真空响应时间和判别阈值均满足设计需求;最后通过对比实验完成了检测方法的可行性分析。结果表明利用真空吸附方式既能准确判别物料状态,又能保证物料传输的安全性和可靠性。基于真空吸附性能的物料状态检测方法具有通用性,为后续产品优化设计提供了实验数据和理论支撑。

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来源
《电子工业专用设备》 |2023年第1期|50-54|共6页
作者
赵东雷; 王浩楠; 赵晨阳; 常美榕; 张子鹏;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
状态检测; 真空吸附; 响应时间; 阈值;

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