半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法

步石; 陈国兴; 赵立华; 陈沿宇; 杨际腾

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半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法

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为满足半导体精密设备步进速度和精度的控制要求,步进运动轨迹应具备精度高、冲击小、速度快等特征。根据其运动轨迹特征,设计出四阶S型运动轨迹规划算法,但在实际应用中,一种轨迹规划通常并不能完全覆盖所有的使用场景。为实现能够根据实际需求提前停止的运动轨迹,在四阶运动轨迹基础上,通过使用轨迹拼接的方式设计出平滑停止算法。根据测试结果,四阶运动轨迹可以根据外部触发信号在任意时刻转为平滑停止轨迹,达到快速停止的目的,且轨迹不会产生额外的冲击力,确保了四阶运动轨迹原有的特征。

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来源
《电子工业专用设备》 |2023年第1期|34-39|共6页
作者
步石; 陈国兴; 赵立华; 陈沿宇; 杨际腾;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
运动控制; 轨迹规划; 平滑停止; 精密运动;

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