半导体设备运动控制系统接口设计

宋婉贞; 周庆奎; 陈高升; 刘宝航

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半导体设备运动控制系统接口设计

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在多自由度纳米级运动平台的运动控制系统架构中,运动控制器和电机驱动器之间增加了运动控制系统接口的设计,用于实现光纤接口和模拟量控制接口的转换,从而完成运动平台的驱动控制。运动控制系统接口的设计主要针对光纤接口的运动控制器及常用的模拟量控制伺服或线性驱动器,适用性强。主要描述了运动控制系统接口的功能与构成、硬件设计、现场可编程逻辑门阵列(FPGA)程序设计。

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来源
《电子工业专用设备》 |2023年第1期|31-33|共4页
作者
宋婉贞; 周庆奎; 陈高升; 刘宝航;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
半导体设备; 运动控制架构; 系统接口设计; 硬件; 现场可编程逻辑门阵列程序(FPGA);

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