具有绝对波长校准和5瓦平均功率的先进光刻用...

刘恩荣

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商品化的Lambda248L准分子激光系统已装配一台新研制的波长计。这种自调整式准分子激光器系统能以±0.001um的绝对准确度,稳定工作在248.180～248.580nm间的任一预定波长上。由于应用于远紫外步进机,其波长可绝对依照步进机的不同光路来校准。该改进型248L系统可以5瓦的平均功率工作。文中给出了实验结果。

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来源
《电子工业专用设备》 |1991年第4期|65-66,F003|共3页
作者
刘恩荣;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光刻系统; 准分子; 激光系统; 波长计;

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