全自动晶圆磨边机平面度误差测量与评定

岑健明

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全自动晶圆磨边机平面度误差测量与评定

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提出了在全自动晶圆磨边设备中对晶圆平面度误差的等角度单圆周测量方案,讲述了最小二乘法的算法原理;并根据最小二乘法的算法原理,基于Matlab软件编写平面度误差评定及其结果的可视化程序;运行程序对全自动磨边机测量的数据进行处理,程序运行结果表明,该算法运行稳定可靠,能够快速确定最小二乘法平面方程和评定平面度误差。

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来源
《电子工业专用设备》 |2022年第1期|48-52|共5页
作者
岑健明;
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作者单位

珠海市博杰电子股份有限公司;

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正文语种 chi
中图分类晶体机械加工;
关键词
平面度; 晶圆; 最小二乘; 误差评定;

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