浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状

宋昊举; 吴立辉; 王维豪

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浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状

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自动化物料运输系统(Automatic Material Handling System,AMHS)在晶圆制造中扮演着非常重要的角色,已成为晶圉制造工厂不可或缺的组成部分.晶圆制造AMHS具有运输任务规模庞大、运输需求随机、任务实时性要求高等特点,通过调度优化可显著提高AMHS及晶圆制造系统运行效率.对晶圆制造AMHS调度方法研究现状进行了简单总结,并指出了AMHS调度进一步的研究方向.

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来源
《装备制造技术》 |2017年第5期|47-49|共3页
作者
宋昊举; 吴立辉; 王维豪;
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作者单位

河南工业大学机电工程学院,河南郑州450007;

河南工业大学机电工程学院,河南郑州450007;

河南工业大学机电工程学院,河南郑州450007;

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正文语种 chi
中图分类在其他方面的应用;
关键词
晶圆制造; 自动化物料运输系统; 调度方法;

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