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Al-A.KF; 刘春生;
不详;
射频; 离子蚀刻; 等离子体诊断;
机译:用于热聚变反应堆的软X射线等离子体诊断系统中的并行计算-GPU的可行性研究
机译:用于GaAs通孔蚀刻应用的具有反应性离子蚀刻系统的新型蚀刻技术
机译:使用Seers等离子体诊断系统在TCP9400SE上聚/聚纤维蚀刻过程中的临界尺寸和氧化物损伤控制
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:掺杂或量子点层作为使用反射各向异性光谱(RAS)的III / V半导体反应离子蚀刻(RIE)的原位蚀刻静止指示器
机译:通过深反应离子蚀刻朝向微创诊断的深反应离子蚀刻制造尖锐硅空心微针
机译:等离子体和离子蚀刻用于失效分析。第2部分。使用Technics Giga Etch 100-E等离子蚀刻系统对塑料封装和其他半导体器件材料进行蚀刻
机译:扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
机译:平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译:平面型等离子体诊断仪,威化型等离子体诊断仪被埋藏,静电卡盘在平面型等离子体诊断仪中被埋藏
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