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TFT玻璃基板中的铂金粒子研究

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通过分析玻璃基板制造中存在的铂金粒子的产生机理,为玻璃基板制造中控制铂金粒子的产生提供参考依据,从而降低玻璃基板生产中铂金粒子的发生率.

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来源
《玻璃》|2014年第12期|44-45|共2页
作者
张军锋;
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作者单位

彩虹显示器件股份有限公司咸阳市721000;

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正文语种 chi
中图分类玻璃工业;
关键词
玻璃基板; 铂金; 铂金粒子;

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