基于频率特征的薄膜损伤声学判别方法

苏俊宏; 王坤坤; 梁海锋

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基于频率特征的薄膜损伤声学判别方法

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利用声学法研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,对其采集到的时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后声波24～40 kHz高频段的曲线,提取频率特征,并提出用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别方法.实验数据结果表明,该方法简单易行,可降低环境噪声的影响,既能实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤.

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来源
《强激光与粒子束》 |2014年第7期|16-20|共5页
作者
苏俊宏; 王坤坤; 梁海锋;
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作者单位

西安工业大学光电工程学院,西安710032;

西安工业大学光电工程学院,西安710032;

西安工业大学光电工程学院,西安710032;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
薄膜损伤; 声频; 激光能量; 相似; 曲线特征;

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