沉积温度对LaF3薄膜性能的影响

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• 来源
  《强激光与粒子束》 |2007年第9期|1507-1511|共5页
• 作者

  余华; 崔云; 申雁鸣; 齐红基; 邵建达; 范正修;

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• 作者单位

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100049;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100049;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,研究生院,北京,100049;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

  中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的性质;
• 关键词

  LaF3薄膜; 沉积温度; 晶体结构; 折射率; 残余应力; 激光损伤阈值;