Zn离子注入和退火对ZnO薄膜光学性能的影响

著录项

• 来源
  《强激光与粒子束》 |2007年第11期|1918-1922|共5页
• 作者

  袁兆林; 祖小涛; 薛书文; 张晓艳; 余华军; 向霞; 居勇峰;

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• 作者单位

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

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  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

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  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

  电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 O484.41;
• 关键词

  ZnO薄膜; 离子注入; 退火温度; 吸收; 光致发光;