α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析

刘兴华; 吴卫东; 何智兵; 袁前飞; 王红斌; 蔡从中

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α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析

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以H2和反式-2-丁烯(T2B)为工作气体,利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C:H薄膜.采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C:H薄膜的表面形貌,分析了实验参数对其形貌的影响.研究表明:固定压强(15 Pa),当T2B/H2流量比为4时,薄膜均方根粗糙度可达0.97 nm.保持T2B/H2流量比固定,增加工作气压,薄膜均方根粗糙度减小,表面更平整、致密.利用傅里叶变换红外光谱仪对薄膜价键结构进行分析,结果表明:α-C:H薄膜中主要存在sp3C-H键,氢含量较高;T2B/H2流量比越低,薄膜中含有更多的C=C键.应用UV-VIS光谱仪,获得了波长在200～1 100 nm范围内薄膜的光吸收特性,α-C:H薄膜透过率可达98%,计算得到的折射率在1.16～1.40.随工作气压的增加,α-C:H薄膜中sp3杂化键增多,透过率、折射率增大.

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来源
《强激光与粒子束》 |2007年第11期|1853-1857|共5页
作者
刘兴华; 吴卫东; 何智兵; 袁前飞; 王红斌; 蔡从中;
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作者单位

重庆大学,数理学院,重庆,400044;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

重庆大学,数理学院,重庆,400044;

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

重庆大学,数理学院,重庆,400044;

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正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
α-C:H薄膜; 表面粗糙度; 折射率; 透过率; 杂化键;

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