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行星夹具膜厚均匀性计算

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摘要

建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型.利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半径以及行星夹具的倾角之间的关系.并得到了一组典型结果.

著录项

来源
《强激光与粒子束》 |2000年第3期|277-280|共4页
作者
潘栋梁; 熊胜明; 张云洞; 王任华;
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作者单位

中科院光电技术研究所成都双流350信箱 610209;

中科院光电技术研究所成都双流350信箱 610209;

中科院光电技术研究所成都双流350信箱 610209;

中科院光电技术研究所成都双流350信箱 610209;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
薄膜; 均匀性; 计算;

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