金刚石膜表面微结构红外增透性能研究

张朝阳; 魏俊俊; 邢忠福; 彭志勇; 刘金龙; 陈良贤; 李成明

首页> 中文期刊> 《红外与激光技术》 >金刚石膜表面微结构红外增透性能研究

金刚石膜表面微结构红外增透性能研究

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

CVD金刚石是一种性能优异的红外光学窗口材料,但其在红外波段的理论透过率仅能实现约71%。通过表面亚波长结构设计可进一步增强CVD金刚石膜的光学透过性能。该研究首先通过理论模拟,建立了金刚石微结构特征与光学增透之间的定量关系。基于此为指导,探讨了在具有微结构硅片表面,采用MPCVD方法复制生长出具有微结构的金刚石自支撑光学级薄膜,用于提升金刚石膜在红外波段的透过率。采用扫描电镜（SEM）观察了原始硅片和金刚石表面及微结构形貌,通过拉曼散射光谱评估了金刚石的生长质量及形核层影响,采用红外光谱仪测试了金刚石红外透过率。结果显示,单面构筑微结构后,金刚石膜在8～12μm波段的透过率可从70%提升至76%,说明表面微结构能显著提升金刚石膜的光学透过性能。非金刚石形核层以及表面微结构的完整性不足可能是导致实验结果与理论模拟结果具有一定偏差的主要原因。

著录项

来源
《红外与激光技术》 |2021年第2期|134-141|共8页
作者
张朝阳; 魏俊俊; 邢忠福; 彭志勇; 刘金龙; 陈良贤; 李成明;
展开▼
作者单位

1. 北京科技大学新材料技术研究院 2. 天津津航技术物理研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造超硬度材料的生产;
关键词
金刚石膜; 亚波长结构; 红外增透; 仿真模拟;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅表面金刚石膜红外增透性能研究 [J] . 胡东平 ,丰杰 ,李建国 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2011,第6期
2. 类金刚石薄膜作为MgF_2红外增透和保护膜的研究 [J] . 张贵锋 ,刘正堂 ,郑修麟 . 光电子技术 . 1996,第2期
3. 金刚石红外增透保护膜的研制及特性拟合 [J] . 褚沉 ,王辉 . 光学仪器 . 1996,第5期
4. 金刚石红外增透保护膜 [J] . 李敬起 ,郭晚土 . 真空与低温 . 1996,第3期
5. 金刚石上不同晶体结构Y_2O_3膜性质与增透性能研究 [J] . 陈良贤 ,刘金龙 ,冯寅楠 . 表面技术 . 2019,第1期
6. 硅表面金刚石膜红外增透性能研究 [C] . 胡东平 ,丰杰 ,李建国 . 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛 . 2011
7. 金刚石衬底上红外增透及抗氧化膜系的制备与性能研究 [A] . 巨志高 . 2005

金刚石膜表面微结构红外增透性能研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅