深紫外投影物镜偏心调整机构的传动比分析(英文)

倪明阳; 巩岩

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深紫外投影物镜偏心调整机构的传动比分析(英文)

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在深紫外光刻投影物镜的研制中,彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性:首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式;然后建立偏心调整机构的运动学仿真模型,对输入/输出传动比进行模拟分析,并对光学元件沿X、Y向运动的位移特性进行分析;最后,分析机构沿X、Y向分别运动时正交方向的运动耦合误差。结果表明:通过理论计算和运动学仿真分析得到的传动比极其吻合;光学元件中心沿X、Y向的输出位移和驱动器输入位移均呈强线性关系;在驱动器输入位移为100μm时,光学元件沿X向的耦合误差为0.16%,沿Y向的耦合误差为0.497%;在驱动器输入位移为2 000μm时,光学元件X向的耦合误差增大到3.486%,沿Y向的耦合误差增大到9.888%;为后续研究提供了理论依据。

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来源
《红外与激光技术》 |2012年第12期|3323-3330|共8页
作者
倪明阳; 巩岩;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
偏心误差; 偏心调整机构; 运动学; 速度瞬心法; 传动比; 耦合误差;

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