红外材料硅透镜加工工艺研究

徐岩; 李善武; 杨新华; 陈洪许

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随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用。介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件。实验结果表明:使用SiO2胶体配制的抛光液（PH 10￣11）及用抛光布制成的抛光模,采用机械-化学方法抛光出的零件表面疵病达到III级（GB1185-74）,并能够通过修改抛光模控制光圈及光圈误差,加工出的硅透镜满足导弹光学系统的要求。

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来源
《红外与激光工程》 |2006年第3期|359-361370|共3页
作者
徐岩; 李善武; 杨新华; 陈洪许;
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作者单位

中国空空导弹研究院;

中国空空导弹研究院;

中国空空导弹研究院;

中国空空导弹研究院河南洛阳471009;

河南洛阳471009;

河南洛阳471009;

河南洛阳471009;

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正文语种 chi
中图分类红外光学材料;
关键词
单晶硅; 表面疵病; 精磨; 机械-化学抛光;

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