用激光散斑法测量位相物体厚度

赵延鹏; 杨军; 赵磊; 何焰蓝

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用激光散斑法测量位相物体厚度

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论述了激光散斑技术在计量方面的应用。首先介绍了应用二次曝光散斑图测量物体表面的面内位移的原理和方法;在此基础上论述了激光散斑技术针对透明固体的厚度及其非均匀性的测量。其次做了一些实验和理论探索,并根据实验结果进行了详细的计算,实验结果与理论符合较好。由实验检测结果可知这种技术的精度非常高,可广泛应用于表面粗糙度研究、缺陷检测、微振动分析等无损检测领域。

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来源
《红外与激光工程》 |2006年第4期|449-452480|共4页
作者
赵延鹏; 杨军; 赵磊; 何焰蓝;
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作者单位

国防科学技术大学理学院;

国防科学技术大学理学院;

国防科学技术大学理学院;

国防科学技术大学理学院湖南长沙410073;

湖南长沙410073;

湖南长沙410073;

湖南长沙410073;

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正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
激光散斑; 位相物体; 二次曝光散斑图; 面内位移;

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