退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

宋立媛; 唐利斌; 姬荣斌; 陈雪梅; 李雄军

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退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

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采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了退火温度和退火时间对ZnO:Al薄膜结构和形貌的影响.结果显示,ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿C轴的(002)择优取向,随退火温度的升高或退火时间的适当延长,衍射峰的半高宽减小、强度增强,晶粒尺寸增大.结果表明,通过适当控制退火温度和退火时间可以得到高质量的ZnO:Al薄膜.

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来源
《红外技术》 |2010年第11期|659-662|共4页
作者
宋立媛; 唐利斌; 姬荣斌; 陈雪梅; 李雄军;
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作者单位

昆明物理研究所,云南,昆明,650223;

昆明物理研究所,云南,昆明,650223;

昆明物理研究所,云南,昆明,650223;

昆明物理研究所,云南,昆明,650223;

昆明物理研究所,云南,昆明,650223;

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正文语种 chi
中图分类红外光学材料;
关键词
退火; ZnO:Al薄膜; X-射线衍射(XRD); 原子力显微镜(AFM);

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