复合热释电薄膜红外探测器的二维热分析

张伟; 姚熹; 吴小清

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复合热释电薄膜红外探测器的二维热分析

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根据热释电薄膜红外探测器的结构和测试条件,使用有限元软件Ansys对其进行了二维热分析,得到了探测器受到红外辐射后的温度场.分析了复合热释电薄膜红外探测器的绝热层对温度场的影响,并将它与微桥结构探测器的性能进行了比较.结果表明,复合热释电薄膜红外探测器的绝热层能有效地减小热流向硅衬底的散失,并且探测器的响应随着绝热层厚度的增大而增大;当复合热释电薄膜红外探测器中绝热层的热导率低于空气的热导率时,它的绝热性能优于微桥结构.

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来源
《红外技术》 |2004年第1期|60-63,66|共5页
作者
张伟; 姚熹; 吴小清;
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作者单位

西安交通大学,电子材料研究所,陕西,西安,710049;

西安交通大学,电子材料研究所,陕西,西安,710049;

西安交通大学,电子材料研究所,陕西,西安,710049;

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正文语种 chi
中图分类微光技术、微光夜视仪;
关键词
热释电; 红外; 有限元; 热分析;

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