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SG—75扩散硅压力传感器

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本文介绍了工业压力变送器用全固态结构的ＳＧ－７５扩散硅压力传感器的研制。传感器压力范围０．１６￣５０ＭＰａ，满量程输出１２０￣２３０ｍＶ／０．７８ｍＡ，精度０．２％Ｆ．Ｓ，工作温区－３０￣９０℃，该传感器现已批量生产。

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |1996年第4期|16-18|共3页
作者
庞世信; 李妍君;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
扩散硅; 压力; 传感器;

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