基于虚拟仪器的真空计参数自动测试系统

赵博文; 梁西银; 颜昌林; 谢凌菲; 马丽萍; 蔡坤辉

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基于虚拟仪器的真空计参数自动测试系统

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针对真空计参数测试过程中数据采集实时性差、自动化程度不高、测试点真空度调节困难等问题,设计出一套真空计参数自动测试系统.以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信方式实现对真空计、气体质量流量控制器数据的实时自动采集;采用自整定P ID算法调节气体质量流量控制器的通气量,实现对测试点真空度的自动调节.测试结果表明:系统能够自动调节真空度并记录数据,实现了真空计参数测试的自动化.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2020年第6期|63-6782|共6页
作者
赵博文; 梁西银; 颜昌林; 谢凌菲; 马丽萍; 蔡坤辉;
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作者单位

西北师范大学物理与电子工程学院甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院甘肃兰州 730070;

兰州真空设备有限责任公司华宇分公司甘肃兰州 730000;

西北师范大学物理与电子工程学院甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院甘肃兰州 730070;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机器人;
关键词
真空计; LabVIEW; PID-自整定;

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