真空计

摘要： 由李得天院士挂帅,510所牵头负责,东北大学、兰州文理学院、沈阳真空技术研究所、北京卫星环境工程研究所、中国计量科学研究院等共同参与制定的我国真空测试计量领域首项国际标准ISO24477:2022《Vacuum technology-Vacuum gauges-Specifications,calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges》(磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度)于8月5日正式发布实施,实现了我国该领域国际标准从0到1的突破。

摘要： 根据市场监管总局2022年第17号公告,JJG159-2022《双活塞式压力真空计检定规程》等20项国家计量技术规范于10月29日正式实施,其中替代8项。

摘要： 为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统.真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题.通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性.真空计在线校准系统可实现(105～10-5)Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13％.

摘要： 普发真空DigiLine系列总压测量真空计再添新成员2021年4月27日,普发真空DigiLine系列总压测量真空计再添新型号,采用数字信号输出,为精准并安全的数据传输保驾护航。20多年来,普发真空凭借DigiLine数字式总压测量真空计为总压测量提供全套方案,此款型号通过模块化设计可以适应任何工业真空应用,它所配备的真空规也易于安装,能够进行可靠的总压测量。

摘要： 评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果.按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测.

摘要： 针对真空计参数测试过程中数据采集实时性差、自动化程度不高、测试点真空度调节困难等问题,设计出一套真空计参数自动测试系统.以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信方式实现对真空计、气体质量流量控制器数据的实时自动采集;采用自整定P ID算法调节气体质量流量控制器的通气量,实现对测试点真空度的自动调节.测试结果表明:系统能够自动调节真空度并记录数据,实现了真空计参数测试的自动化.

摘要： 动态真空校准装置由供气系统、抽气系统、校准系统、烘烤系统、测控及分析系统五部分组成.利用快开超高真空插板阀与限流元件组合的方法, 在20ms至1s的时间范围内实现标准压力105Pa至100Pa范围的瞬态阶跃变化.采用稀薄流下DSMC法与连续流下Navier-Stokes方程相结合的模型, 确定快速膨胀过程中标准压力时间常数.动态真空校准装置预计达到的技术指标为校准范围10-1Pa～105Pa, 合成标准不确定度小于15％.%A novel apparatus has been designed to calibrate vacuum gauge for its response characteristic, which consists of gas supply system, pumping system, baking system, calibration system and control system. In order to establish transient step about dynamic vacuum in the pressure range from 105 Pa to 102 Pa during 20 ms to 1 s, a very fast-opening ultra-high vacuum gate valve and flow limiting element are combined. By virtue of a hybrid model of continuum part (NavierStokes equation) and the rarefied part (DSMC), the flow states of rarefied gas along the flow limiting element and very fastopening ultra-high vacuum gate valve could be acquired by finite element software, corresponding to the time constant of standard pressure. The standard pressure ranges from 10-1 Pa to 105 Pa with a combined standard uncertainty less than 15％.

摘要： 制药装备在药品生产实践中有着非常重要的作用,其质量会对最终的药品生产效率和质量造成影响,所以在制药装备生产的时候,利用先进的技术进行设备质量控制十分的不要。基于实践做分析调查可知制药设备生产中会利用到真空测量技术,该技术主要有三方面的内容,分别是真空度计量单位、测量仪表和测量方法,为了使该技术在设备利用中发挥更大的价值,做好与之相关的讨论研究非常必要。

摘要： “真空”一词对大众并不陌生,真空无处不在。可以说,正是得益于真空技术的进步,才使得我们的生活更加丰富多彩起来,生产制造有了更大的发挥余地。创立于1890年的德国普发真空专注于真空技术的创新和真空能级的不断提升,已有129年的深厚历史和技术积淀。作为全球领先的真空技术和泄漏检测解决方案的供应商之一,普发真空不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵,同时还拥有各种旋片泵、干泵、罗茨泵、多级罗茨泵、氮质谱检漏仪、微流量检漏仪、真空计、质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。

摘要： 在原有基础上研制出一种基于现场的便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽真空度的校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105～104Pa,合成标准不确定度为1.3％～2.5％.装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,总重量小于35公斤,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.

摘要： 为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准.为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法.实验结果证实该装置的校准范围可达1×105～4×10-6Pa,其合成标准不确定度为1.3％～4.7％.装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,其总重量小于40公斤.总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点.

摘要： 介绍了一种采用B-A型皮拉尼复合真空计做为副标准真空计,在线比较校准工作用真空计的方法.作者通过使用副标准真空计与在线工作用真空计同时测量同一真空环境,进行数据运算及分析,判断在线真空计的主要技术性能指标,给出其修正因子及测量不确定度.为了验证该校准技术量值传递的准确性及可靠性,作者通过对副标准真空计相关性能测试及在线进行比较校准,认为该技术是可以解决科研及生产领域中真空计的在线校准难题.

摘要： 针对一般真空计量标准大都是粗、低真空的玻璃校准系统和中真空的金属校准系统,由于操作复杂、效率低,宽量程校准不能连续,安全性差,繁琐而又耗时等问题,采用金属超高真空结构,研制出一种新型真空计校准装置.装置以动态、静态比对法和静态膨胀法作为校准方法,用于对(10-4～105)Pa范围的各种真空计校准。该装置提高了校准的效率,并且具有量程范围宽、准确度高、性能稳定、操作简便、安全可靠等特点。

摘要： 在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽真空度的校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105Pa～10-5pa,合成标准不确定度为1.3％～2.5％.装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,总重量小于35公斤,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.

摘要： 真空计的校准大多是在实验室温度下(23°C±3°C)进行的,与其实际使用的环境温度存在较大差异,导致真空度测量结果的准确性无法保证.目前在我国,高低温真空校准尚属空白,为了解决不同环境温度下真空计校准的需求,研制了高低温真空校准装置.高低温真空校准装置由供气系统、抽气系统、温度控制系统、压力校准系统和数据采集系统等组成,其极限真空度为1.77×10-6Pa,校准范围为1.63×10-4Pa～1.33×105Pa,温度范围为-112°C～+93°C,温度波动为±1.3°C,能够满足实际需求.

摘要： 便携式真空校准装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成。本文考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求，设计中采用了模块化分体式结构，复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等3种真空校准方法。可根据不同的校准需求，选配不同的模块和方法实现对真空计的校准。预计达到的技术指标是，校准范围为10-4Pa～105Pa，合成标准不确定度小于7％。

摘要： 真空系统是由真空泵、真空计、被抽容器及其它元件如真空阀门、真空显示器、冷阱等，定的时间、空间内获得真空、并保持真空，确保系统内某项工艺过程的实施。本文论述了真空型直读光谱仪的真空控制系统的设计、调试及应用，是真空系统设计中一个极其成功的案例。

摘要： 本文介绍了兰州物理研究所金属膨胀式真空标准装置的工作原理,以及使用计算机对金属膨胀式真空标准装置前级标准进行控制和数据采集的原理和方法,给出了对RUSKA7010型石英布尔登规进行计算机控制的具体方法.本标准主要用于校准电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计.

摘要： 高温拉伸力学试验分为高真空状态下的拉伸力学试验和高纯氩气状态下的拉伸力学试验,试验温度通常设有800°C、1000°C、1200°C、1400°C、1600°C、1800°C、2000°C这几个段位.试样棒按国家标准要求尺寸制做,样品材料为钨铜合金,钨粉采用同一批次为基本有效地避免了因粉料粒度、成份等因素的误差,使得最终试验数据受到影响.本文以上述七段温度值为准,分别在两种气氛状态下试验并加以比对.

摘要： 金属陶瓷接合体具备：金属部件；陶瓷部件(11)；接合层(21)，其由瓷釉构成，将金属部件和陶瓷部件接合；导电层(22)，其构成陶瓷部件的外表面，被接合层覆盖；以及端子层(23)，其位于陶瓷部件的外表面中与金属部件分离的部位(11d、11e)。导电层(22)具有比接合层(21)高的电导率。接合层(21)位于金属部件与端子层(23)之间。

摘要： 金属陶瓷接合体具备：金属部件；陶瓷部件(11)；接合层(21)，其由瓷釉构成，将金属部件和陶瓷部件接合；导电层(22)，其构成陶瓷部件的外表面，被接合层覆盖；以及端子层(23)，其位于陶瓷部件的外表面中与金属部件分离的部位(11d、11e)。导电层(22)具有比接合层(21)高的电导率。接合层(21)位于金属部件与端子层(23)之间。

摘要： 本发明提供一种电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，本发明提供的电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，通过独立且反相的载波信号分别对薄膜电容的内环电容信号和外环电容信号进行调制，对调制后的内环电容信号和外环电容信号进行求和得到电容差值信号，进而换算得到真空度检测结果，由于调制后的内环电容信号和外环电容信号通过求和的方式即可获得电容差值，对电路中器件的性能要求较低，能够保证真空度检测结果线性度更高且更加稳定可靠。

摘要： 提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。一种冷阴极电离真空计，其特征在于，具有：阳极；筒状的阴极，其以包围阳极的方式配置；密封部，其密封阴极的一侧的开口；第1构件，其在阴极的内部与密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由阴极、密封部以及第1构件围成的空间分隔成第1构件所面对的第1空间和密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于分隔部或第2空间，并且，发出电磁波，在分隔部的外周部的至少一部分与阴极之间形成有间隙。

摘要： 本发明公开一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块，其中的蓝宝石单晶炉真空计防污染装置包括壳体、下隔离板、分子筛层，所述壳体下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板，在壳体内所述下隔离板的上方设置有分子筛层。通过隔板的作用将单晶炉内的污染物进行物理隔离，同时采用分子筛对通过物理隔离后的污染物进一步进行吸附。

摘要： 本发明提供一种低成本的传感器型真空计，能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力，适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1)，该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E)，处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上，按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表，设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。

摘要： 本发明提供一种电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，本发明提供的电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，通过独立且反相的载波信号分别对薄膜电容的内环电容信号和外环电容信号进行调制，对调制后的内环电容信号和外环电容信号进行求和得到电容差值信号，进而换算得到真空度检测结果，由于调制后的内环电容信号和外环电容信号通过求和的方式即可获得电容差值，对电路中器件的性能要求较低，能够保证真空度检测结果线性度更高且更加稳定可靠。

摘要： 本发明提供一种电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法，该装置包括：载波生成单元、信号采集单元、第一定时器和处理单元；载波生成单元用于根据配置的数字信号生成载波信号，并将载波信号传输至真空计的电极；信号采集单元用于采集真空计的调制信号，并对调制信号进行模数转换后传输至处理单元；其中，调制信号是将真空计的电极的输出信号调制到载波信号得到的；第一定时器用于触发载波生成单元和信号采集单元同步进行信号的传输；处理单元用于对模数转换后的调制信号进行信号处理，得到真空计的气压检测结果。本发明采用数字驱动的方式获取真空计的气压检测结果，有效保证了检测装置的线性度，且信号处理过程更为简单，无需复杂的电路。

摘要： 提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。一种冷阴极电离真空计，其特征在于，具有：阳极；筒状的阴极，其以包围阳极的方式配置；密封部，其密封阴极的一侧的开口；第1构件，其在阴极的内部与密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由阴极、密封部以及第1构件围成的空间分隔成第1构件所面对的第1空间和密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于分隔部或第2空间，并且，发出电磁波，在分隔部的外周部的至少一部分与阴极之间形成有间隙。

摘要： 本发明公开一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块，其中的蓝宝石单晶炉真空计防污染装置包括壳体、下隔离板、分子筛层，所述壳体下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板，在壳体内所述下隔离板的上方设置有分子筛层。通过隔板的作用将单晶炉内的污染物进行物理隔离，同时采用分子筛对通过物理隔离后的污染物进一步进行吸附。