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电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法

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本发明提供一种电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，本发明提供的电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，通过独立且反相的载波信号分别对薄膜电容的内环电容信号和外环电容信号进行调制，对调制后的内环电容信号和外环电容信号进行求和得到电容差值信号，进而换算得到真空度检测结果，由于调制后的内环电容信号和外环电容信号通过求和的方式即可获得电容差值，对电路中器件的性能要求较低，能够保证真空度检测结果线性度更高且更加稳定可靠。

著录项

公开/公告号CN113899494B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18

原文格式PDF
申请/专利权人北京晨晶电子有限公司;
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申请/专利号CN202111495832.1
发明设计人王松杰;汤一;王杰;宋冬谊;高乐;韩雪飞;廖兴才;林立男;张永斌;
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申请日2021-12-09
分类号G01L21/00(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人乔慧
地址 100020 北京市朝阳区酒仙桥路2号
入库时间 2022-08-23 13:16:42

法律信息

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法律状态
2022-03-18

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发明专利权授予

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