首页> 中文期刊> 《科技创新导报》 >MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究

MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究

         

摘要

MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计,精度达万分之五,常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题,在探讨其内部结构、工作原理后,给出利用现有设备对其进行精度调整的方法。实际检测证明:该方法简单实用,可操控性强,可为国内其他单位所借鉴。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号