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薄膜无源元件集成技术的发展现状

         

摘要

薄膜无源元件集成技术其成本低、可靠性高、环保节能、与半导体工艺兼容,通常能提供优良的元件精度和功能密度,成为无源元件集成技术发展的主流方向。薄膜集成无源工艺能制作各种电阻器、电容器和电感器元件,以及低电感接地板和连接无源元件的多层传输线布线,将各种功能薄膜集成在一起已经成为可能。电子无源元件和有源器件的集成,已成为发展电子新技术的一个突出亮点。

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