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碱金属气氛对SEM管硅靶污染的研究

         

摘要

本文从碱金属对SEM管及象增强器等器件的管内元件的污染入手,介绍了碱金属对SEM管硅靶的污染现象,在分析碱金属对硅靶污染机理的基础上,提出了避免污染的方法,并给出了采用此种方法后的试验效果。

著录项

  • 来源
    《应用光学》 |1981年第2期|1-6|共6页
  • 作者

    成建波;

  • 作者单位

    成都电讯工程学院;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
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