GaAs光电阴极热清洗工艺研究

石峰

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GaAs光电阴极在进行Cs-O激活前,激活层表面必须达到原子级洁净.最常用且最有效的洁净方法是高温热清洗法.然而,在热清洗过程中对处在真空系统中的光电阴极表面温度进行精确测量却是非常困难的.本文采用四极质谱仪对GaAs光电阴极激活前的热清洗过程进行分析,确定了最佳的热清洗温度及热清洗工艺,较好地解决了GaAs光电阴极激活前的热清洗工艺问题.

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来源
《应用光学》 |2004年第4期|31-3240|共3页
作者
石峰;
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作者单位

西安应用光学研究所;

陕西西安;

710065;

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正文语种 chi
中图分类洁净技术;
关键词
四极质谱仪; 光电阴极; 热清洗; 温度;

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