关于提高傅里叶变换轮廓术测量精度的研究

著录项

• 来源
  《应用光学》 |2013年第5期|845-848|共4页
• 作者

  郭文静; 石兵华; 金永;

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• 作者单位

  中北大学电子测试技术国家重点实验室;

  山西太原030051;

  中北大学电子测试技术国家重点实验室;

  山西太原030051;

  中北大学电子测试技术国家重点实验室;

  山西太原030051;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 测试、调整及其设备;
• 关键词

  傅里叶变换轮廓术; 预处理; 滤波器; 相位展开; 系统标定;