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聚乙烯促进低压气相金刚石成核的机理

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摘要

研究了在微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）条件下，聚乙烯对金刚石在单晶硅衬底上形核的影响．发现预先涂覆在硅衬底的聚乙烯显著地促进了金刚石的形核；提出了聚乙烯促进金刚石形核的机理和具有ＳＰ３杂化结构的含碳活化粒子过饱和度概念及其促进金刚石形核的观点．

著录项

来源
《工程科学学报》 |1994年第2期|135-138|共4页
作者
王建军; 吕反修; 杨保雄;
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作者单位

北京科技大学材料科学与工程系;

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正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
晶核; 聚乙烯; 金刚石膜; 成核;

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