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光刻装置中超透镜透射系数研究

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摘要

由银膜构成超透镜的特性在理论上进行了研究.本文计算了透射系数随横向波矢的变化关系.计算表明,其变化关系不同于真空环境下的超透镜.同时我们发现,P波和S波分别存在一个超透镜的临界厚度,且各不相同.对偏振光入射时,若超透镜厚度小于临界厚度就会出现透射系数大于1的情况,本文对此进行了分析和解释.

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来源
《首都师范大学学报：自然科学版》 |2014年第2期|22-25|共4页
作者
韩午霞;
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作者单位

首都师范大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学;
关键词
超透镜; 透射系数; 临界厚度.;

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