Si掺杂对提高TiN薄膜力学性能的影响

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• 来源
  《长春理工大学学报（自然科学版）》 |2010年第3期|93-95,43|共4页
• 作者

  尹龙承; 蔡继兴; 冯克成; 彭鸿雁; 郑友进;

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• 作者单位

  牡丹江师范学院,新型炭基功能与超硬材料省重点实验室,牡丹江,157012;

  长春理工大学,理学院,长春,130022;

  长春理工大学,理学院,长春,130022;

  牡丹江师范学院,新型炭基功能与超硬材料省重点实验室,牡丹江,157012;

  牡丹江师范学院,新型炭基功能与超硬材料省重点实验室,牡丹江,157012;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TB303TQ050.6;
• 关键词

  真空阴极弧; 硅烷; TiN薄膜;