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二维任意形状寄生电阻电容的边界元计算

         

摘要

由于集成电路技术高速发展,精确提取任意形状寄生电阻电容变得十分重要.本文以直接边界元素法为基础,利用圆弧样条插值近似任意曲线边界,使插值曲线具有整体一阶连续性,并克服了大挠度与多值的困扰.在直线边界使用线性连续元,在曲线边界使用二次连续元.对两邻边为直线的角点,我们曾提出处理角点处存在多重法向导数的一种方法[3,6].这里,它被推广到角点邻边含曲线段的情形.数值结果表明模拟器是可行的.

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