载能粒子沉积薄膜生长的微观机制研究

张庆瑜

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采用嵌入原子间相互作用势，利用分子动力学方法模拟了载能原子沉积Ａｕ／Ａｕ（１００）薄膜的生长过程，通过对薄膜生长的表面覆盖度曲线和Ｂｒａｇｇ衍射强度等随沉积原子能量变化的研究，发现随着沉积原子能量的增加，薄膜的生长模式从Ｓｔｒａｎｓｋｉ－Ｋｒａｓｔａｎｏｖ生长（Ｓ－Ｋ生长）转变为ＦｒａｎｋｖａｎｄｅｒＭｅｒｗｅ生长（Ｆ－Ｍ生长）。同时，通过对沉积原子能量、基体温度随是演化分析，探讨了载能原子在

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来源
《大连理工大学学报》 |1999年第6期|730-735|共6页
作者
张庆瑜;
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作者单位

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
薄膜生长; 分子动力学模拟; 载能粒子; 微观机制;

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