载玻片为基底制备钛薄膜的研究

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• 来源
  《赣南师范大学学报》 |2022年第3期|36-39|共4页
• 作者

  曾祥华; 何英杰; 董煜; 朱秀榕; 李晓芬; 张文;

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• 作者单位

  赣南师范大学物理与电子信息学院;

  同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  磁控溅射法; 金属Ti薄膜; 溅射时间; 透射率; 电阻率; 薄膜光栅;