基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量

常素萍; 谢铁邦

首页> 中文期刊> 《华中科技大学学报：自然科学版》 >基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量

基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测件,通过检测被测件表面的干涉条纹变化得到表面形貌.垂直扫描位移工作台利用压电陶瓷驱动柔性铰链结构进行纳米驱动,光栅传感器监控整个垂直扫描过程,对压电陶瓷的非线性误差进行实时补偿.垂直扫描位移工作台的性能分析表明:分辨率达到1 nm,定位精度小于10 nm.同时采用图像分析技术对光学仪器测量台阶出现的噪声进行了消噪处理,试验结果表明垂直扫描白光干涉系统能够实现MEMS三维表面形貌的高精度测量.

著录项

来源
《华中科技大学学报：自然科学版》 |2007年第9期|8-11|共4页
作者
常素萍; 谢铁邦;
展开▼
作者单位

华中科技大学机械科学与工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
微机电系统; 白光干涉技术; 衍射光栅; 垂直扫描;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究 [J] . 申路 ,王宇华 ,杨永强 . 佛山科学技术学院学报（自然科学版） . 2012,第004期
2. 基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪 [J] . 张玲玲 ,谢铁邦 . 计量技术 . 2007,第003期
3. 一种基于白光扫描干涉法表面形貌测量仪的研究 [J] . 孙艳玲 . 中国仪器仪表 . 2006,第004期
4. 基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 [J] . 李秋柱 ,刘毅 ,牛康康 . 测试技术学报 . 2009,第003期
5. 利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 [J] . 刘晨 ,陈磊 ,王军 . 光电工程 . 2011,第001期
6. 基于扫描白光干涉仪的多层薄膜三维形貌测量 [C] . Shi Zhendong ,石振东 ,Chen Bo . 2015年光与计量学术交流会 . 2015
7. 基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量的研究 [A] . 张琳 . 2010

基于白光干涉的MEMS三维表面形貌测量

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅